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中国机床高级顾问邵钦作回答:国产机床能不能胜任35nm光刻机的精密加工?

  中国机床工具协会高级顾问邵钦作:“中电科领导找我咨询,中电科设计的35nm光刻机,几个关键部件需要精密加工,国产机床能不能胜任?我回答,挑国产机床里最好的,能达到精度要求,但日后要做13nm光刻机,国产机床就要继续攻关。”

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中国机床高级顾问邵钦作回答:国产机床能不能胜任35nm光刻机的精密加工?

来源:原创 点击数:813次 更新时间:2021-05-12


  中国机床工具协会高级顾问邵钦作:“中电科领导找我咨询,中电科设计的35nm光刻机,几个关键部件需要精密加工,国产机床能不能胜任?我回答,挑国产机床里最好的,能达到精度要求,但日后要做13nm光刻机,国产机床就要继续攻关。”

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